4. Die Auswirkungen des Trocknungssystems
Die Temperatur und Zeit während des Trocknungsprozesses haben erhebliche Auswirkungen auf die Produktqualität. Eine zu niedrige Temperatur oder eine zu kurze Zeit kann im Embryo zu verbleibenden Feuchtigkeit führen, die in nachfolgenden Nitriding -Prozessen verwendet werden kann
Die Oxidationsreaktion von Siliziumpulver wird während des Reaktionsprozesses induziert, wodurch die Effizienz der Nitringreaktion und die Beeinflussung der Produktqualität verringert wird. Die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs kann sich auch auf die Produktqualität auswirken. Der schnelle Temperaturanstieg ist nicht förderlich für die Steuerung der hohen - -Temperaturumgebung, da übermäßig hohe Temperaturen Risse auf der Oberfläche des Embryos verursachen können.
5. Der Einfluss der Ofen -Installationsmethode
Die Faktoren, die die Qualität des Ofens vor dem Nitriding -Prozess beeinflussen können, sind der Spaltabstand zwischen den Embryonen. Es sollte einen gewissen Raum zwischen den Embryonen geben, um günstige Bedingungen für die reibungslose Infiltration und Füllung von Ammoniakgas zu liefern und das Phänomen des Siliziumflusses zu vermeiden, das durch übermäßige Ofenbelastung verursacht wird.
6. Die Auswirkungen des Nitriding -Systems
Die Rohstoffe vonSiliziumnitrid in Kombination mit SiliziumkarbidziegelS sind gemischt und geformt und dann mit einer hohen Temperatur von etwa 1400 Grad in einem Nitringofen abgefeuert. Die Qualität und Leistung des Endprodukts hängen eng mit der Temperatur der Nitrid -Reaktion zusammen. Während der Reaktion zwischen Siliziumpulver und Stickstoff gibt es ungefähr zwei Temperaturstadien: die Heizstufe, gefolgt von der Ammonifizierungsreaktionsstufe der Rohstoffe. Die Temperatur innerhalb des Geräts während der Heizstufe steigt von der Anfangstemperatur auf etwa 1100 Grad, während die Temperatur während der Rohstoff -Nitrid -Reaktionsstufe zwischen 1100 und 1350 Grad liegt
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